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壓電升降掃描臺,Z軸掃描運(yùn)動(dòng)

簡要描述:Sxxx.Z.C,壓電升降掃描臺,Z軸掃描運(yùn)動(dòng)
緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系,Z 方向大行程

  • 產(chǎn)品型號:Sxxx.Z.C
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-06-20
  • 訪  問  量:660

詳細(xì)介紹

壓電·單維掃描運(yùn)動(dòng) Sxxx.Z.C

? 緊湊型單軸Z軸方向運(yùn)動(dòng),電容位置閉環(huán)控制


Z 方向運(yùn)動(dòng)范圍 100-300 um;

外形尺寸,40 mm x 40 mm x 18 mm;

閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開環(huán)版本可選)

最大負(fù)載 500 g;

支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級;

壓電升降掃描臺,Z軸掃描運(yùn)動(dòng)——詳細(xì)參數(shù):



壓電升降掃描臺,Z軸掃描運(yùn)動(dòng)——尺寸圖

壓電升降掃描臺,Z軸掃描運(yùn)動(dòng)


多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含:

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列;

SD —— 高動(dòng)態(tài)系列;

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng)、Z軸單維度運(yùn)動(dòng)、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。



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