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壓電陶瓷位移臺,X軸掃描,兼容無磁高真空

簡要描述:Sxxx.X.C,壓電陶瓷位移臺,X軸掃描,兼容無磁高真空
緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系,X 方向大行程

  • 產(chǎn)品型號:Sxxx.X.C
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-06-20
  • 訪  問  量:273

詳細介紹

壓電·單維掃描運動 Sxxx.X.C

? 標(biāo)準(zhǔn)單軸掃描運動模塊,支持電容閉環(huán)控制


X 方向運動范圍 100-500 um;

外形尺寸,50 mm x 50 mm x 17 mm

閉環(huán)定位精度優(yōu)于3 nm (開環(huán)版本可選);

最大負(fù)載 500 g

支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級;

壓電陶瓷位移臺,X軸掃描,兼容無磁高真空——詳細參數(shù):




壓電陶瓷位移臺,X軸掃描,兼容無磁高真空——尺寸圖

壓電陶瓷位移臺,X軸掃描,兼容無磁高真空


多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含:

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列;

SD —— 高動態(tài)系列;

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。




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